加工位置制御　リニアステージ　超高性能直進ステージ

メーカー：Newport

超高性能直進ステージのリニアシリーズは、世界トップレベルの力学性能を実現しており、一貫性と信頼性に優れた1 nmの移動を可能にします。堅牢で再現性に優れたモーションを提供する革新的かつコンパクトなステージで、きわめて複雑な軌道で優れた精度を実現します。精密工学を採用したコンポーネントと、摩耗とモータ過熱を最小限に抑える設計を特徴とするXMの性能は、モーションへの費用対効果を長期にわたって最大化します。XMステージは、多軸アプリケーションのニーズに対応するために、他のNewport社のステージと組み合わせて積載することができます。クリティカルな位置決めアプリケーションには、μ（ミクロン）レベルでの位置決め較正サービスの利用が可能で、XPSモーションコントローラのエラーマッピング補償機能を使用して、XMステージの軸上精度を100 mmトラベルあたり1 μmまで向上させることができます。アプリケーションには、レーザマシニング、半導体ウェーハ検査、センサの試験と較正、超精密なアセンブリ（組み立て）などがあります。

ロングトラベル・
リニアステージ

超精密リニア
モータステージ

一体型XY
リニアステージ

高性能ロングトラベル
リニアモータステージ

産業向け
Z軸ステージ

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