フェムト秒レーザー加工装置

メーカー:Oxford Lasers

 

高性能コンパクトなマイクロマシニング装置で、ナノ秒、ピコ秒、フェムト秒のパルス レーザーが搭載可能です。

オートフォーカス・同時観察光学系等オプション対応可能です。

仕様

フェムト秒レーザー
波長 1028 nm
出力 10 W
最大パルスエネルギー 0.4 mJ
パルス幅 290 fs-10 ps
外部制御アッテネータ 0~100 %
XY軸リニアステージ
精度 ±1.5µm
再現性 ±0.5µm
最高速度(無負荷) 2 m/s
エンコーダ分解能 5 nm
Z軸サーボモータステージ
精度 ±8µm
再現性 ±1µm
最高速度(無負荷) 0.3 m/s
エンコーダ分解能 1µm
エンクロージャ Laser Class 1, スチール製,インターロック付き
テーブル材質 グラナイト製
総重量 1,500 kg
占有面積 1470 W x 1402 D x 2152 H mm

*仕様は予告なく変更になる場合があります。
 
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