メーカー:Oxford Lasers
高性能コンパクトなマイクロマシニング装置で、ナノ秒、ピコ秒、フェムト秒のパルス レーザーが搭載可能です。
オートフォーカス・同時観察光学系等オプション対応可能です。
仕様
フェムト秒レーザー | ||
---|---|---|
波長 | 1028 nm | |
出力 | 10 W | |
最大パルスエネルギー | 0.4 mJ | |
パルス幅 | 290 fs-10 ps | |
外部制御アッテネータ | 0~100 % | |
XY軸リニアステージ | ||
精度 | ±1.5µm | |
再現性 | ±0.5µm | |
最高速度(無負荷) | 2 m/s | |
エンコーダ分解能 | 5 nm | |
Z軸サーボモータステージ | ||
精度 | ±8µm | |
再現性 | ±1µm | |
最高速度(無負荷) | 0.3 m/s | |
エンコーダ分解能 | 1µm | |
エンクロージャ | Laser Class 1, スチール製,インターロック付き | |
テーブル材質 | グラナイト製 | |
総重量 | 1,500 kg | |
占有面積 | 1470 W x 1402 D x 2152 H mm |
*仕様は予告なく変更になる場合があります。
お問い合わせ