産業向け2軸ガルバノスキャナ

メーカー:Raylase

レーザービームを2次元で走査・集光するXY偏向ユニットです。
小~中規模程度の加工エリアで、高速処理が必要なさまざまなアプリケーションに好適です。

 


2軸偏向ユニットは、2次元エリアの任意の位置にレーザー走査します。ガルバノメータースキャナーで位置決めされる2つのミラーで、レーザービームをXおよびY方向に偏向します。
 


 

《 レーザー出力ランピング制御 》

 
 

仕様

電圧 30 V or 48 V
電流 2 A RMS, 最大 5 A
リップル/ノイズ 最大 200 mVpp, @ 20 MHz バンド幅
周囲環境温度 +15°C ~ +35°C
保存温度 -10°C ~ +60°C
湿度 ≤ 80 % (結露無きこと)
IPコード 64
Interface 信号, デジタル XY2-100-Enhanced プロトコル, SL2-100 プロトコル
典型的な偏向 ± 0.393 rad
分解能 XY2-100-E 16ビット 12 μrad
分解能 SL2-100 20-ビット 0.76 μrad
温度ドリフト 最大ゲイン・ドリフト ¹ 15 ppm/K, Max. オフセット・ドリフト ¹ 10 μrad/K
長時間ドリフト8時間(水温制御なし)L *1 < 60 μrad
長時間ドリフト8時間(水温制御あり) *1,2 < 40 μrad

 

開口径依存仕様– メカニカルデータ

モデル SUPERSCAN IV-10 SUPERSCAN IV-15 SUPERSCAN IV-30
偏向ユニット SUPERSCAN IV SUPERSCAN IV SUPERSCAN IV
入射開口径 10 mm 15 mm 30 mm
ビーム変位 12.5 mm (SI) 18.1 mm (QU, SI), 18.0 mm (SC) 36.0 mm (SI, SC), 35.4 mm (QU)
重量 (対象物無の場合) 約3.2 kg 約3.2 kg 約3.2 kg, ステンレススチールタイプ “S” 約12.0 kg
寸法 (L x W x H) [mm] 170.0 x 125.0 x 117.5 170.0 x 125.0 x 117.5 203.0 x 159.0 x 150.0

 

*1  光学角度。 30分のウォームアップ後、一定の周囲温度とプロセス応力での軸ごとのドリフト。
*2  30分のウォームアップ後、さまざまなプロセス負荷の下で、水温制御を≥2l / min、水温を22℃にに設定します。

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