コンパクト・空冷 フェムト秒レーザー 微細加工向け

フェムト秒レーザー

メーカー:LITILIT

Litilit社のIndylitシリーズは、優れた堅牢性と安定性、クリーンなパルス形状と高パルスエネルギーを持つ、微細加工に適したフェムト秒ファイバレーザーです。メンテナンスフリー、ターンキー式でユーザーフレンドリーな設計となっています。また、レーザーヘッドはパッシブ空冷設計のため、ハンドリングが容易です。このパッシブ空冷設計は同社にて特許取得済みです。主な用途として、材料のマイクロ加工、眼科治療、非熱加工、半導体、ガラス、セラミックのダイシングとスクライビングなどがあり、理化学用途も豊富です。新製品であるIndylit 20は、最大平均出力20Wを実現し、最も効率的なパッシブ空冷式フェムト秒レーザーです。他のモデル同様、メンテナンスフリー、ターンキー式となっており、パルスデュレーション、ビームポインティング精度、出力の安定性を保証します。更には、オプションの第二高調波(SH)モジュールが内蔵されており、波長延長が可能なため、さらに幅広い材料加工アプリケーションに対応できます。

 
 

繰り返し周波数vsパルスエネルギー
繰り返し周波数 vs パルスエネルギー
100μJでのパルス波形
100μJでのパルス波形
ビーム径
ビーム径

仕様

モデル Indylit 10
中心波長 1030± 2 nm
平均出力※1 >10W (300~1,000 kHZ)
最大パルスエネルギー※1 >100 μJ(80 kHz), >10μJ(1 MHz)
パルス幅可変 450 fs~2 ps
内部パルス繰り返し周波数(RRi) 80 kHz ~ 1 MHz
パルスピッカー後のパルス繰り返し周波数 RRi/N、N=1,2,…
トリガーモード TTL経由パルスピッカー制御
ビーム品質 M2<1.2
ビーム真円度※2
ビーム径(1/e2 レベル)
>0.87
ビーム径(1/e2 レベル) 1.5±0.5 mm
ビーム発散(全角) <1.5 mrad
ビームポインティング(ピーク間) <30μrad(80~500 kHz), <50 μrad(0.5~1 MHz)
ビームポインティング対温度(ピーク間) <20 μrad/℃
パルスエネルギー安定性(RMS) <1.0%
パワー安定性(RMS) <1.0%
ウォームアップタイム(コールドスタート) <15分
ウォームアップタイム(ウォームスタート) <10秒
レーザー制御インターフェイス CAN, USB
電源 10…240 V AC, 47…63 Hz
平均消費電力(ウォームアップ後) <300 W
動作温度 15~35℃
湿度 結露無き事
輸送/保管温度 -20~+70℃
寸法 レーザーヘッド:483 x 204 x 186 mm、制御ユニット:449 x 368 x 140 mm
アンビリカル長 3±0.3 mm
冷却 レーザーヘッド:パッシブ空冷、制御ユニット:空冷(ファン)

※1 typ値については、出力とエネルギー対パルス繰り返し率の曲線を参照してください。
※2 z-スキャンに沿った最悪の場合の楕円率として定義されています。
 
お問い合わせ