フェムト秒レーザー

メーカー:LITILIT

優れた堅牢性と安定性、クリーンなパルス形状と高パルスエネルギーを持つ、微細加工に適したフェムト秒ファイバレーザーです。

 
 


繰り返し周波数 vs パルスエネルギー

100μJでのパルス波形

ビーム径

仕様

モデル Indylit 10
中心波長 1030± 2 nm
平均出力※1 >10W (300~1,000 kHZ)
最大パルスエネルギー※1 >100 μJ(80 kHz), >10μJ(1 MHz)
パルス幅可変 450 fs~2 ps
内部パルス繰り返し周波数(RRi) 80 kHz ~ 1 MHz
パルスピッカー後のパルス繰り返し周波数 RRi/N、N=1,2,…
トリガーモード TTL経由パルスピッカー制御
ビーム品質 M2<1.2
ビーム真円度※2
ビーム径(1/e2 レベル)
>0.87
ビーム径(1/e2 レベル) 1.5±0.5 mm
ビーム発散(全角) <1.5 mrad
ビームポインティング(ピーク間) <30μrad(80~500 kHz), <50 μrad(0.5~1 MHz)
ビームポインティング対温度(ピーク間) <20 μrad/℃
パルスエネルギー安定性(RMS) <1.0%
パワー安定性(RMS) <1.0%
ウォームアップタイム(コールドスタート) <15分
ウォームアップタイム(ウォームスタート) <10秒
レーザー制御インターフェイス CAN, USB
電源 10…240 V AC, 47…63 Hz
平均消費電力(ウォームアップ後) <300 W
動作温度 15~35℃
湿度 結露無き事
輸送/保管温度 -20~+70℃
寸法 レーザーヘッド:483 x 204 x 186 mm、制御ユニット:449 x 368 x 140 mm
アンビリカル長 3±0.3 mm
冷却 レーザーヘッド:パッシブ空冷、制御ユニット:空冷(ファン)

※1 typ値については、出力とエネルギー対パルス繰り返し率の曲線を参照してください。
※2 z-スキャンに沿った最悪の場合の楕円率として定義されています。
 
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