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メーカー：Litilit
Litilit社のIndylitシリーズは、優れた堅牢性と安定性、クリーンなパルス形状と高パルスエネルギーを持つ、微細加工に適したフェムト秒ファイバーレーザーです。メンテナンスフリー、ターンキー式で使い易いユーザーフレンドリーな設計となっています。また、レーザーヘッドはパッシブ空冷設計のため、取り扱いが容易です(本パッシブ空冷の設計はLitilit社にて特許取得済み)。
主な使用用途として、材料のマイクロ加工(微細加工)、眼科治療、非熱加工、半導体、ガラス、セラミックのダイシング(個片への切り離し)とスクライビング(溝・亀裂の形成)などがあり、理科学用途も豊富です。新製品であるIndylit 20は最大平均出力20Wを実現し、最も効率的なパッシブ空冷式フェムト秒レーザーです。他のモデル同様、メンテナンスフリー、ターンキー式と使い易くなっています。パルス幅、ビームポインティング精度、出力の安定性と高品質のレーザーをご提供いたします。さらには、オプションの第二高調波(SH)モデルもあり、波長延長が可能であるため、さらに幅広い材料加工アプリケーションに対応できます。
| 中心波長 | 1030 ± 2 nm | 515 ± 1 nm |
| 平均出力 1) | > 13 W @ 100 kHz > 18 W @ 1 MHz (Typ 20 W @ 1 MHz) |
> 7 W @ 100 kHz > 3 W @ 1 MHz |
| 最大パルスエネルギー 1) | > 130 μJ | > 70 μJ |
| パルス幅 | < 400 fs | |
| パルス幅調整可能精度 | 400 fs – 2 ps | N/A |
| 出力間の切替時間 | < 1 s | |
| 内部パルス繰り返し周波数 | 100 kHz – 1 MHz, 最小 30 kHz （バーストモード時） | |
| パルスピッカー | 内蔵 | |
| トリガーモード | TTL ゲート経由パルスピッカー制御 | |
| バースト長 | 1…12 パルス | |
| 最大エネルギー（バースト時） | > 500 μJ | > 200 μJ |
| パルス減衰 2) | 100 – 1% | |
| ビーム品質 | M² < 1.2 | |
| ビーム円形度 3) | > 0.90 | > 0.85 |
| ビーム径 ( 1/e² ) | 2.6 ± 0.3 mm | 2.3 ± 0.3 mm |
| 偏光 | Linear horizontal, > 200:1 extinction |
1) 標準的な値については、パワーとエネルギー対パルス繰り返し率の曲線を参照してください。
2) 減衰はいくつかの方法で制御できます。
a) PCユーザーインターフェース、b) CANレジスタ、
c) アナログ入力（0 – 1 V、立ち上がり時間 < 1 μs）。ビーム
ビーム品質仕様は10%パワーレベルまで維持されます。
パワーレベルまで維持されます。
3) zスキャンに沿った最悪の楕円率として定義。
