シリコンの切断

メーカー:Trumpf

シリコンは、太陽電池、マイクロエレクトロニクス、マイクロマシニング、半導体製造など、多くの業界で使用されています。娯楽製品を含む他のセクターでも可能性が高まっています。ほとんどのアプリケーションにおいて、シリコンはウェハーの形で使用され、窒化ケイ素や酸化ケイ素などの化合物でコーティングし、材料の有用な特性を向上させることが可能です。

シリコンは従来、時間やコストのかかる、のこぎりやダイヤモンドワイヤーソーによる切断方法が使用されています。シリコンは硬くて脆い特性を持っているため、エッジチッピングが発生し、後処理を必要とします。また、これらの方法では直線しか切断できません。Tru Pulse (旧redENERGY) 30W RM-Zは、短時間で高品質の切削を実現します。マルチパススキャナーベースの切断技術でファイバーレーザーを使用すると、Tru Pulse (旧redENERGY) の柔軟性により、様々な形状の切断およびシリコンの処理が可能になります。

シリコンの処理は、材料の種類や形態によって影響を受ける可能性があります。単結晶と多結晶はシリコンの2つの形状です。可能な限り最高の仕上げ品質を達成するために高いピークパワーで処理されます。一方、多結晶シリコンでは、Tru Pulse (旧redENERGY) レーザーでロングパルスを使用して、最高品質の切断、穴あけ、エングレービングを行うことが推奨されます。ロングパルスにより、プロセス速度が大幅に向上し、クラッキングが減少して品質が向上します。

アプリケーションパラメータ

タイプ Tru Pulse (旧redENERGY) 30W RM-Z
出力パワー 20 W
M2 <1.6
ビーム径 >10 mm
スキャナー/レンズ >8mm/163mm F-Theta
出力エネルギー WF0 30kHz @ 400mm/s

関連製品:

パルスファイバレーザー Tru Pulse (旧redENERGY) Z type

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