銀メッキセラミックのエッチング

メーカー：Trumpf

パルスファイバレーザーを用いて、セラミック上の厚い光沢質金属メッキを剥離することができます。この技術により、電子回路基板として利用する電気的絶縁部を素早く綺麗に作製できます。

高出力波形WF=0 の設定により、25～50μm厚の銀メッキを完全にアブレーションし、下層の非伝導性セラミック層を露出できます。この加工の実施例では、ライン幅150～180μmで、エッチングおよびクリーニングの組合せ速度 200mm/sが達成できました。

この加工には、標準のFT163 F-θレンズ付き 10mm スキャンヘッドを使用し、プロセスガスは不要です。TruPulse S-Type シングルモードファイバレーザーと、標準のF75 ビームエクスパンディング・コリメータを組み合わせることで、厚い銀層を磁気化するのに十分なパワー密度を有する31μm径の微小ビームを生成できます。

WF=0、35kHz、30 μm径で、エッチングのスキャン速度は650mm/sです。1m/s、WF=5、290kHzでスキャンした例では、セラミックから酸化銀を除去し、綺麗な電気的絶縁部を生成できました。

アプリケーションパラメータ

関連製品：

シングルモード・パルスファイバレーザー Tru Pulse S type