フレキシブルOLED(有機発光ダイオード)は、ポリイミド(PI)やポリエチレン・テレフタレート(PET)など感熱性プラスチック・フィルム上に素材を蒸着した多層構造です。このようなレイヤー構造は、各素材の熱的および光学的特性が異なるため、従来のレーザーによる加工が困難です。

近年、フラットパネルディスプレイ技術がLCDからOLEDに移行するにつれ、OLED製造プロセスを最適化するための新しいツールとして、フェムト秒レーザーが注目されています。このような構造を、業界が要求する高い品質を実現しながら高いコスト効率で加工するには、高出力、高繰返し周波数、短パルス幅を兼ね備えたレーザーが不可欠です。

フェムト秒レーザーは、熱影響を最小限に抑えた高速かつ高精度な材料除去に最適です。