DX Short Pulse
355nm / 532nm 高出力ナノ秒レーザー

メーカー:Photonics Industries

概要と特長

微細加工向け 短パルスモデル 高出力ナノ秒レーザー

Photonics IndustriesのDXシリーズ 短パルスナノ秒レーザーは、産業用システムに対し、最適なコンパクト形状、短パルス幅(約10nsまで)、高出力、高繰返し周波数(最大1MHz)のQスイッチDPSSレーザーを提供し、高い生産スループットと精密な加工品質を実現します。独自に特許を取得した内部高調波発生方式により、結晶に損傷を与えるインデキシングを回避し、より高性能かつ高信頼性を達成し、厳しい生産要件にも応えます。

 

  • 高いパルスエネルギー:1 mJ
  • 独自の内部高調波技術 ― 優れたビーム品質、低コストオブオーナーシップ
  • 統合が容易なオールインワン(AIO)設計

 

アプリケーション:ガラス、セラミックの微細加工など

  • 半導体ウエハマーキング
  • シリコン、PERCおよび太陽電池加工
  • PCBおよびポリマーの切断・穴あけ
  • ガラス・セラミックス加工
  • 表面洗浄・アブレーション
  • マイクロエレクトロニクス製造
  • 電極の切断・成形
  • 表面洗浄・アブレーション
  • 積層造形における精密な層除去

製品仕様

DX Short Pulse Series – 532nm

モデル DX-532-30 DX-532-48 DX-532-65 DX-532-80
波長 532 nm
平均出力 @100kHz 30 W 48 W 65 W 80 W
パルスエネルギー @100kHz ~500 µJ ~600 µJ ~700 µJ ~800 µJ
パルス幅 ~10 ns @ 50 kHz ~14 ns @ 100 kHz ~20 ns @ 100 kHz
繰返し周波数*1 シングルショット~500kHz(オプションで最大1MHz)
パルス間安定度 (%RMS)*2 <2%
長期出力安定度 (%RMS)*3 <2%
ビームモード / M² TEM00, M²<1.1 TEM00, M²<1.2
ビーム拡がり角 ~2.5(mrad, 公称値)
出口ビーム径*4 ~0.7(mm, 公称値) ~1(mm, 公称値)
ビーム真円度 ~90%
ビーム位置安定性 <25 (µrad)
偏光比 垂直;>100:1
運用仕様・特性
インターフェース RS232, Ethernet, GUI, 外部TTLトリガ
ウォームアップ時間 <5分(スタンバイ)、<10分(コールド)
電源要件 100–240V AC → 32V DC, 16A(PSU付属)
電源周波数 (Hz) 50–60
消費電力 (W) ~350 ~400 ~600
寸法(レーザーヘッド W×D×H) 406×190×95 mm 457×190×95 mm
質量 約13.2 kg 約15.6 kg
環境要件
動作温度*2 15 to 30℃
湿度 0 to 80%RH(結露無きこと)
保管条件 -10 to 40℃、海抜0 to 12,000m、0 to 80%RH(結露無きこと)
冷却方式 水冷

*1 低繰返し(~30kHz以下)はパルスエネルギー制限により実現。
*2 周囲温度 ±2℃ 条件で測定。
*3 8時間 ±1℃ 条件で測定。
*4 出口ビーム径は拡張オプションあり。

DX Short Pulse Series – 355nm

モデル DX-355-20 DX-355-28 DX-355-40 DX-355-50
波長 355 nm
平均出力 @100kHz 20 W 28 W 40 W 50 W
パルスエネルギー @50kHz ~400 µJ ~560 µJ ~800 µJ ~1000 µJ
パルス幅 (ns) @50kHz ~12
繰返し周波数*1 シングルショット~300 kHz(オプションで >500 kHz)
パルス間安定度 (%RMS)*2 <2%
長期出力安定度 (%RMS)*3 <2%
ビームモード / M² TEM00, M² < 1.1 TEM00, M² < 1.2
ビーム拡がり角 <1.5(mrad, 公称値)
出口ビーム径*4 ~0.6(mm, 公称値) ~2.5(mm, 公称値)
ビーム真円度 ~90%
ビーム位置安定性 <25 (µrad)
偏光比 水平;>100:1
運用仕様・特性
インターフェース RS232, Ethernet, ソフトウェアGUI, 外部TTLトリガ
ウォームアップ時間 <5分(スタンバイ)/ <10分(コールドスタート)
電源要件 100–240 V AC → 32 V DC, 16 A(PSU付属)
電源周波数 (Hz) 50–60
消費電力 (W) ~350 ~400 ~600
寸法(レーザーヘッド W×D×H) 約 457 × 190 × 95 mm
質量 約 15.6 kg
環境要件
動作温度*2 周囲温度 15 to 30 ℃(59 to 86 °F)
相対湿度 0 to 80 %(最大)、結露無きこと
保管条件 -10 to 40 ℃;海抜 0 to 12,000 m
相対湿度 0 to 80 %、結露無きこと
冷却方式 水冷

*1 低繰返し(~<30 kHz)時の性能はパルスエネルギー制限により達成。
*2 周囲温度 ±2 ℃ 条件で測定。
*3 8 時間、±1 ℃ 条件で測定。
*4 出口ビーム径はオプションで拡大可能。