DX Long Pulse
355nm / 532nm 高出力ナノ秒レーザー

メーカー:Photonics Industries

概要と特長

微細加工向け ロングパルス 高出力ナノ秒レーザー

Photonics IndustriesのDXシリーズ ロングパルスナノ秒レーザーは、小型で、最大約340nsのロングパルスと最大200kHzの高繰返しを実現するQスイッチDPSSレーザーです。ロングパルスや熱加工にフォーカスした応用、さらに深部の微細加工に最適です。特許取得済みの内部高調波発生技術により、結晶に損傷を与えるインデキシングを回避し、より高性能かつ高信頼性を実現。厳しい生産要件にも対応します。
 

  • 高いパルスエネルギー:1 mJ
  • 独自の内部高調波技術 ― 優れたビーム品質、低コストオブオーナーシップ
  • 統合が容易なオールインワン(AIO)設計

 

アプリケーション:ガラス、セラミックの微細加工など

  • 材料除去・表面エッチング
  • 接着性向上のためのテクスチャリング
  • ウエハのダイシングおよびスクライビング
  • ダイヤモンド切断
  • バイオマテリアルのパターニング
  • エッジアイソレーションおよびグルービング
  • ガラスおよびサファイアのマーキング
  • レーザートリミング

製品仕様

DX Long Pulse Series – 532nm

モデル DX-532-LP DX-532-HLP
波長 532 nm
平均出力 35 W @ 40 kHz
25 W @ 200 kHz
48 W @ 40 kHz
40 W @ 200 kHz
パルスエネルギー ~700 µJ @ 40 kHz
~125 µJ @ 200 kHz
~1 mJ @ 40 kHz
~200 µJ @ 200 kHz
パルス幅 ~85 ns @ 40 kHz
~340 ns @ 200 kHz
~65 ns @ 40 kHz
~250 ns @ 200 kHz
繰返し周波数*1 シングルショット~300 kHz
パルス間安定度 (%RMS)*2 <1.5
長期出力安定度 (%RMS)*3 ±2
ビームモード / M² TEM00・M² < 1.2
ビーム拡がり角 ~3(公称値, mrad)
出口ビーム径 ~1.25(公称値, mm)
ビーム真円度 ~90%
ビーム位置安定性 <25 (µrad)
偏光比 垂直;>100:1
運用仕様・特性
インターフェース RS232, Ethernet, ソフトウェアGUI, 外部TTLトリガ
ウォームアップ時間 <5分(スタンバイ)/ <10分(コールドスタート)
電源要件 100–240 V AC → 32 V DC, 15 A[PSU付属]
電源周波数 (Hz) 50–60
消費電力 (W) ~400
寸法(W×D×H) 571.5 × 190.5 × 95.25 mm
質量 ~22.2 kg
環境要件
動作温度*2 周囲温度 15 to 30 ℃(59 to 86 °F)
相対湿度 0 to 80 %(最大)、結露無きこと
保管条件 −10 to 40 ℃;海抜 0–12,000 m
相対湿度 0 to 80 %、結露無きこと
冷却方式 水冷

*1 低繰返し(<20 kHz)時の性能はパルスエネルギー制限によるもの。
*2 周囲温度 ±2 ℃ 条件で測定。
*3 8 時間、±1 ℃ 条件で測定。

DX Long Pulse Series – 355nm

モデル DX-355-LP DX-355-HLP DX-355-35-HLP
波長 355 nm
平均出力 16 W @ 40 kHz
4 W @ 200 kHz
28 W @ 40 kHz
7 W @ 200 kHz
35 W @ 40 kHz
12 W @ 200 kHz
パルスエネルギー ~320 µJ @ 40 kHz
~20 µJ @ 200 kHz
~560 µJ @ 40 kHz
~35 µJ @ 200 kHz
~700 µJ @ 40 kHz
~60 µJ @ 200 kHz
パルス幅 ~95 ns @ 40 kHz
~250 ns @ 200 kHz
~70 ns @ 40 kHz
~220 ns @ 200 kHz
~60 ns @ 40 kHz
~185 ns @ 200 kHz
繰返し周波数*1 シングルショット~200 kHz シングルショット~250 kHz
パルス間安定度 (%RMS)*2 <1.5
長期出力安定度 (%RMS)*3 ±2
ビーム空間モード / M² TEM00・M² < 1.2 TEM00・M² < 1.1
ビーム拡がり角 ~1.7(公称値, mrad) ~2(公称値, mrad)
出口ビーム径 ~0.8(公称値, mm)
ビーム真円度 ~90%
ビーム位置安定性 <25 (µrad)
偏光比 水平;>100:1
運用仕様・特性
インターフェース RS232, Ethernet, ソフトウェアGUI, 外部TTLトリガ
ウォームアップ時間 <15分(スタンバイ)/ <30分(コールドスタート)
電源要件 100–240 V AC → 32 V DC, 15 A(PSU付属)
電源周波数 (Hz) 50–60
消費電力 (W) <400 <500
寸法(W×D×H) 571.5 × 190.5 × 95.25 mm
質量 ~22.2 kg
環境要件
動作温度*2 周囲温度 15 to 30 ℃(59 to 86 °F)
相対湿度 0 to 80 %(最大)、結露無きこと
保管条件 -10 to 40 ℃;海抜 0 to 12,000 m
相対湿度 0–80 %、結露無きこと
冷却方式 水冷

*1 低い繰返し(~<30 kHz)時の性能はパルスエネルギー制限により達成。
*2 周囲温度 ±2 ℃ 条件で測定。
*3 8 時間、±1 ℃ 条件で測定。
*4 UVモデルの出口ビーム径は拡張オプションで最大 ~2.5 mm に対応。