DP Series
高パルスエネルギー ナノ秒レーザー

メーカー:Photonics Industries

概要と特長

微細加工向け 高パルスエネルギー ナノ秒レーザー

Photonics IndustriesのDPシリーズは、ダイオード励起固体レーザー(DPSS)、Qスイッチ方式の高エネルギー 短パルスレーザーです。最大20mJのパルスエネルギー、TEM₀₀出力、そして競合比で熱負荷を10分の1に抑えた卓越した電力効率を兼ね備えています。複数の波長を選択または組み合わせられる機能により、ガラス内部マーキングからディスプレイ修復に至るまで、産業用途に理想的な小型空冷パッケージです。科学分野においても、原子励起研究や分光システムに最適です。
 

構成ラインナップ

  • DPM:マルチ横モード, 繰返し周波数 10Hz, 出力エネルギー 200mJ to 4J
  • DP:TEM₀₀出力,繰り返し周波数 100Hz,出力エネルギー ~50mJ
  • DP1k:TEM₀₀出力,繰り返し周波数 1000Hz,出力エネルギー ~20mJ

主な特長

  • 競合比で発熱を5~10分の1に抑えた高効率設計(壁電力から5~10%の変換効率)
  • 小型・空冷式のオールインワン(AIO)構成
  • マルチ波長選択(MWS)&マルチ波長ブレンド(MWB)オプション:IR、グリーン、UV、DUVを選択または混合可能
  • 可変連続パルス繰返し周波数:1 Hz ~ 100 Hz
  • 優れたビームポインティング安定性:<25 µrad
  • システム統合に理想的なトータルパルス制御:デューティサイクル制御、PEC(出力またはパルスエネルギー制御)
  • 信頼性が高く、低COOで消耗品不要の設計:特許取得の内部共振型UV・グリーン高調波発生技術

 

アプリケーション:ITO膜のパターニングなど

  • 材料加工:マーキング、スクライビング、グルービング
  • イオン生成、原子励起、量子物理学
  • LCD/LED/OLEDパネル修復システム
  • LIBSおよび先端分光システム
  • 非破壊検査:レーザー超音波、音響顕微鏡、光音響を利用
  • 薄膜技術:パルスレーザー堆積(PLD)に特化
  • OPOポンピング:光パラメトリック発振器システムをサポート

製品仕様

DP Series – DP TEM00

仕様 DP5 DP20 DP50
波長 (nm) 1064
532
355
266*1
1053
527
351
263
1030
515
343
257*1
最大パルスエネルギー (mJ)*2,4 IR:2.5*
GRN:1.5*
UV:1*
IR:20
GRN:10
UV:5
IR:50
GRN:25*
UV:15*
平均出力 (W) DUV:<0.5
パルス幅範囲 (ns)*3 ~6–10
繰返し周波数 (Hz) シングルショット~100
パルス間安定度 (RMS %) <3
長期出力安定度 (RMS %) <3
ビーム空間モード/M²*5 TEM00・M² < 1.5
ビーム拡がり角 <2(公称値, mrad)
出口ビーム径*5 1–2.5(公称値, mm)
ビーム真円度 ~90%
ビーム位置安定性 <25 (µrad)
偏光比 (IR)§ 垂直;>100:1
運用仕様・特性
インターフェース RS232、Ethernet、ソフトウェアGUI、外部TTLトリガ
ウォームアップ時間 <5分(スタンバイ)/ <10分(コールドスタート)
電源要件 15 V DC, 7 A 24 V DC, 3 A 32 V DC, 11 A
電源周波数 (Hz) 50–60
消費電力 (W) ~10 ~50 ~150
寸法*7 11 × 5 × 3.25 in 14 × 6.75 × 4.25 in
質量 ~10 lbs ~15.5 lbs[~7 kg]
環境要件
動作温度 周囲 15 to 30 ℃(59 to 86 °F)
相対湿度 0 to 80%(最大)、結露無きこと
保管条件 -10 to 40 ℃;海抜 0~12,000 m/相対湿度 0~80%、結露無きこと
冷却方式 自然空冷 空冷/Rad-Cooled*6 水冷
オプション:マルチ波長出力 – 標準ビーム出射ポートから波長が出力されます。
波長の組み合わせ [IR/GRN] | [GRN/DUV] | [IR/GRN/UV] | [IR/GRN/DUV]
MWB:ブレンド 選択した波長が同時にポートから出力されます。選択機能はありません。

*1 DUV 257/263/266 nm出力についてはお問い合わせください。
*2 冷却方式(空冷またはRad cooling™)は、パルスエネルギーに応じて決まります。
*3 パルス幅はモデル/構成によって異なります。
*4 多波長出力構成ではパルスエネルギー効率が変動します。
*5 値は波長およびモデル次第です。
*6 Rad cooling™ は低振動(低dB)で効率よく放熱します。
*7 DPシリーズはオールインワン(AIO)で、背面パネルに操作・制御端子を備えます。
マルチ波長出力オプションの詳細はお問い合わせください。
§ ブレンド構成では偏光が異なる場合があります。
* 予備仕様(Preliminary)です。