レーザー加工・レーザー切断・溶接総合サイト
日本レーザー加工サイト│レーザー加工・レーザー切断・溶接総合サイトレーザー加工・レーザー切断・溶接総合サイト
日本レーザー加工サイト│レーザー加工・レーザー切断・溶接総合サイト
メーカー：Photonics Industries
Photonics IndustriesのDMシリーズ Nd:YLFナノ秒UVレーザーは、351 nm波長のマルチモード出力に対応し、広スポット径や高出力処理が必要な加工に最適です。単一モードでは難しい厚膜除去や大面積加工にも対応し、半導体アニーリングやOLEDリフトオフ、ウェハ加工、マイクロパターニングなど幅広く応用可能です。
| モデル | DM-351-20 | DM-351-30 | DM-351-60 | DM2-351-60 |
|---|---|---|---|---|
| 波長 | 351 nm | |||
| 平均出力 (W) @3 kHz | 30 | 45 | 100 | 200（コンバイン） |
| パルスエネルギー (mJ) @1 kHz | 20 | 30 | 60 | 120（コンバイン） |
| パルス幅 (ns) @1 kHz | ~50 ±10 | 50 ±10 | 30 ±10 | |
| パルス幅 (ns) @3 kHz | 70 ±20 | ~50 ±10 | ||
| 繰返し周波数 (kHz)*2 | 1 ～ 6 | 1 ～ 5 | 1 ～ 10 | |
| パルス間安定度*3 | <1.0(%RMS) | |||
| 長期出力安定度*4 | <0.5(%RMS) | |||
| ビーム空間モード / M² | マルチモード（M²X 22 ±3／M²Y 12 ±2） | マルチモード（M²X 16 ±3／M²Y 7.5 ±1.5） | ||
| ビーム拡がり角（公称値, mrad） | X: ~6.0 ±1.0 ／ Y: ~2.8 ±0.5 | X: ~6.0 ±1.0 ／ Y: ~2.3 ±0.5 | X: ~5.0 ／ Y: ~2.0 | |
| 出口ビーム径（公称値, mm） | X: ~3.7 ±0.5 ／ Y: 2.6 ±0.5 | X: ~2.7 ±0.5 ／ Y: 2.2 ±0.5 | X: ~3.0 ±0.5 ／ Y: 2.2 ±0.5 | |
| ビーム位置安定性 | <25 (µrad) | |||
| 偏光比 | 水平；100:1 | |||
| 運用仕様・特性 | ||||
| インターフェース | RS232、Ethernet、ソフトウェアGUI、外部TTLトリガ | |||
| ウォームアップ時間 | <5分（スタンバイ）／ <10分（コールドスタート） | |||
| 電源要件 | 100–240 V AC | 200–240 V AC | ||
| 電源周波数 (Hz) | 50–60 | |||
| 消費電力 (kW)*5 | ~0.8 | ~1.0 | <2 | >2 |
| レーザーヘッド寸法（W×D×H） | 660 × 241.3 × 108 mm | 660 × 241.3 × 108 mm | 660 × 406.4 × 108 mm | |
| 電源ユニット寸法*6 | 381 × 482.6 × 88.9 mm | 381 × 482.6 × 88.9 mm | 406.4 × 482.6 × 88.9 mm | |
| 質量 | ~38.6 kg | ~34 kg | ~50 kg | |
| 環境要件 | ||||
| 動作温度 | 周囲 15 to 30 ℃（59 to 86 °F） | |||
| 相対湿度 | 0～80%（最大）、結露無きこと | |||
| 保管条件 | -10 to 40 ℃；海抜 0～12,000 m／相対湿度 0～80%、結露無きこと | |||
| 冷却方式 | 水冷（外部チラー） | |||
*2 低繰返し（～<1 kHz）時の性能はパルスエネルギー制限により達成。
*3 周囲温度 ±2 ℃ 条件で測定。
*4 8 時間、±1 ℃ 条件で測定。
*5 表中の消費電力は外部チラーの消費電力を含みません。
*6 ラックマウント時の総幅は19 in、ユニット高さは2U。
仕様は予告なく変更になる場合があります。詳細・カスタム仕様はお問い合わせください。