メーカー：Oxford Lasers
顧客の要求に沿った最先端レーザー加工システム
コンパクト設計で研究開発に最適
用途に応じたレーザーを搭載可能
オートフォーカス・同時観察光学系などのオプション
ピコ秒／フェムト秒の超短パルスレーザーを搭載したシステムで、金属薄膜・セラミック系材料・高分子材料など、さまざまな材料のミリング・エッチング・スクライブ・穴あけなどを行う非熱加工アプリケーションの微細加工装置です。
本装置には、オートフォーカス機能、同軸観察光学系を有し、位置決め操作や加工条件を設定できる専用ソフトウエアなどが用意されています。
この専用ソフトウエア“Cimita”を利用することで、観察系・位置決めステージ・レーザー制御を一括管理でき、CADファイルによる加工プログラム作成にも対応できます。
また、ユーザー用途に合わせた各種加工用レーザーを検討することができます。
オートフォーカス・同時観察光学系等オプション対応可能です。
仕様
| フェムト秒レーザー | ||
|---|---|---|
| 波長 | 1028 nm | |
| 出力 | 10 W | |
| 最大パルスエネルギー | 0.4 mJ | |
| パルス幅 | 290 fs-10 ps | |
| 外部制御アッテネータ | 0～100 % | |
| XY軸リニアステージ | ||
| 精度 | ±1.5µm | |
| 再現性 | ±0.5µm | |
| 最高速度（無負荷） | 2 m/s | |
| エンコーダ分解能 | 5 nm | |
| Z軸サーボモータステージ | ||
| 精度 | ±8µm | |
| 再現性 | ±1µm | |
| 最高速度(無負荷) | 0.3 m/s | |
| エンコーダ分解能 | 1µm | |
| エンクロージャ | Laser Class 1, スチール製,インターロック付き | |
| テーブル材質 | グラナイト製 | |
| 総重量 | 1,500 kg | |
| 占有面積 | 1470 W x 1402 D x 2152 H mm | |
*仕様は予告なく変更になる場合があります。
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