フェムト秒レーザーをはじめとする超短パルスレーザーは、材料の表面処理において、ほぼ全ての種類の材料を比類のない精度で高速に処理でき、業界標準となりつつあります。
フェムト秒レーザーの高いピーク強度と短パルス幅は、多光子吸収とアブレーションの主な要因となります。このプロセスでは、レーザーの非常に高いエネルギー密度によって素材の局所的な蒸発が起こり、周囲の材料への熱負荷が最小限に抑えられます。この多光子吸収プロセスのおかげで、硬い透明材料も簡単に加工できます。フェムト秒レーザーは、ガラス、太陽電池、ウェーハ、半導体、セラミック、金属シート、ポリマー、医療機器など幅広い材料について、切断、スクライビング、穴あけ、マーキング、彫刻といった多彩なレーザー加工に適用できます。
使用するフェムト秒レーザーは、微細加工用途に応じて、最適な波長、パルス幅、出力安定性が必要です。
