半導体/LED製造

半導体/LED製造
 

フレキシブルOLED(有機発光ダイオード)は、ポリイミド(PI)やポリエチレン・テレフタレート(PET)など感熱性プラスチック・フィルム上に素材を蒸着した多層構造です。このようなレイヤ構造は、各素材の熱的・光学的特性が異なるため、従来のレーザーによる加工が困難です。

フラットパネルディスプレイ技術がLCDからOLEDに移行するにつれて、OLED製造プロセスを最適化するための新しいツールとして、フェムト秒レーザーが注目されています。

このような構造を、業界が要求する高い品質を実現しながら、高いコスト効率で加工するには、高出力、高繰返し周波数、短パルス幅を兼ね備えたレーザーが不可欠となります。フェムト秒レーザーは、熱影響を最小限に抑えた高速かつ高精度な材料除去に最適です。

 
 
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