メーカー：attocube
ナノメートルの高い精度で、広い可動範囲の位置決め動作を提供
ステージの種類は、直進（リニア）、回転、ゴニオメトリック、スキャナーがあり
個々のステージ（リニアド、回転、ゴニオ）を組み合わせて、最大6軸までの多軸システムを構築できます。特注対応もお受けしております。
ナノ位置決め装置
- 大気及び真空対応
- 耐荷重：数kg
特注ナノ位置決めステージ
- アプリケーション応じた
多軸システムを構成
一体型6軸位置決め装置
- 再現性:直進50 nm・回転1 µrad
レーザー干渉式センサ
- 超高速(10MHz)
- 長作動距離(最大5m)
- 超高真空/高磁場に対応
