メーカー:attocube
ナノメートルの高い精度で、広い可動範囲の位置決め動作を提供
ステージの種類は、直進(リニア)、回転、ゴニオメトリック、スキャナーがあり
個々のステージ(リニアド、回転、ゴニオ)を組み合わせて、最大6軸までの多軸システムを構築できます。特注対応もお受けしております。

ナノ位置決め装置
- 大気及び真空対応
- 耐荷重:数kg

特注ナノ位置決めステージ
- アプリケーション応じた
多軸システムを構成

一体型6軸位置決め装置
- 再現性:直進50 nm・回転1 µrad

レーザー干渉式センサ
- 超高速(10MHz)
- 長作動距離(最大5m)
- 超高真空/高磁場に対応