ナノ位置決めステージ 

メーカー:attocube

ナノメートルの高い精度で、広い可動範囲の位置決め動作を提供

ステージの種類は、直進(リニア)、回転、ゴニオメトリック、スキャナーがあり
個々のステージ(リニアド、回転、ゴニオ)を組み合わせて、最大6軸までの多軸システムを構築できます。特注対応も可お受けしております。

 
 


ナノ位置決め装置

  • 大気及び真空対応
  • 耐荷重:数kg

特注ナノ位置決めステージ

  • アプリケーション応じた
    多軸システムを構成

一体型6軸位置決め装置

  • 再現性:直進50 nm・回転1 µrad

レーザー干渉式センサ

  • 超高速(10MHz)
  • 長作動距離(最大5m)
  • 超高真空/高磁場に対応

 
アプリケーションに合わせた製品をご提案いたします。詳細はお問合せ下さい。

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