超高性能直進ステージのリニアシリーズは、世界トップレベルの力学性能を実現しており、一貫性と信頼性に優れた1nmの移動を可能にします。堅牢で再現性に優れたモーションを提供する革新的かつコンパクトなステージで、きわめて複雑な軌道で優れた精度を実現します。精密工学を採用したコンポーネントと、摩耗とモータ過熱を最小限に抑える設計を特徴とするXMの性能は、モーションへの費用対効果を長期にわたって最大化します。

XMステージは、多軸アプリケーションのニーズに対応するために他のNewport社のステージと組み合わせて積載することができます。クリティカルな位置決めアプリケーションには、μ(ミクロン)レベルでの位置決め較正サービスの利用が可能で、XPSモーションコントローラのエラーマッピング補償機能を使用して、XMステージの軸上精度を100mmトラベルあたり1μmまで向上させることができます。アプリケーションには、レーザマシニング、半導体ウェーハ検査、センサの試験と較正、超精密なアセンブリ(組み立て)などがあります。