ナノメートルのレベルの高い精度で、広い可動範囲の位置決め動作をさせることが可能です。複数のナノ位置決めステージと個々の位置読取り機能(電気式、光電子式、干渉計式センサ)を組み合わせることで、複雑な位置決めを行うことも可能です。

ステージの種類は、直進(リニア)、回転、ゴニオメトリック(角度計)、スキャナーがあり個々のステージ(リニアド、回転、ゴニオ)を組み合わせて最大6軸までの多軸システムを構築することが可能です。サイズ、耐荷重、位置読み取り機能など、アプリケーションに合わせてカスタマイズできます。