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中出力ピコ秒レーザー

メーカー：Photonics Industries

概要と特長

産業用途向け中出力ピコ秒レーザー

RXシリーズ中出力ピコ秒レーザーは、産業・科学用途において、極めて高い性能と精密さ、そして堅牢な筐体を兼ね備えた製品です。これまでに世界中で1,000台以上のピコ秒レーザーの納入実績があり、精密加工、科学研究、さらにはますます短いパルス幅が求められる新たな先端分野のニーズにも対応しています。

Flex-Pulse™ Suite
高精度な微細加工を実現するパルス制御技術を備えています。

PEC（Power or Pulse Energy Control）:光エネルギー出力を統合的に管理し、安定した加工精度を維持します。
PSO（Position Synchronized Output）:レーザーパルスをモーションシステムと同期させ、どの速度でも安定した加工を実現。コーナーやエッジでの熱損傷を防ぎます。
POD（Pulse-On-Demand）:単発パルスやバーストを内部・外部・連続で柔軟にトリガーでき、エネルギーを安定的に保持します。
システムインテグレーターやOEM用途において、最大限の柔軟性と安定性を保証します。

Digi-Burst™
最大10パルス（~31ns間隔）の個別制御可能なバーストを実現。

高度なパルス整形が可能：フラットプロファイルのバースト（エネルギー均一化），準ランダム制御バースト（RS-232コマンド経由），パルスブランキングによる間隔調整
POD（Pulse-On-Demand）と組み合わせて、複雑なカスタムパルス列を生成可能
レーザーと材料の相互作用を最適化し、アブレーション速度と微細加工効率を向上

アプリケーション

レーザーマーキング、スクライビング
医療機器向け微細加工
薄膜の除去および加工
ウェハダイシングおよびエッジトリミング
プリント基板（PCB）およびポリマーの切断・穴あけ
アニーリングおよびドーピング
太陽電池の製造
半導体プロセス
透明材料のマイクロマシニング

製品仕様

RX IR Series_*1,2,3,4 – 1064 nm

仕様	RX-1064-40	RX-1064-100	RX-1064-150	RX-1064-200	RX-1064-250
波長	1064 nm
平均出力 @1 MHz	40 W	100 W	150 W	200 W	250 W
パルスエネルギー	300 µJ	400 µJ	500 µJ	325 µJ	400 µJ
規定PRF	300 kHz			600 kHz
パルス幅	~10 ps
繰返し周波数	シングルショット～ 2000 kHz
パルス間安定度 (RMS)	<1 %
長期出力安定度 (RMS)	≤1 %
ビーム空間モード / M²	TEM₀₀, M² < 1.3	TEM₀₀, M² < 1.2		TEM₀₀, M² < 1.3
ビーム径	1.5 ± 0.5mm		2.5 ± 0.5mm	2.5 ± 0.5mm
拡がり角	<1.5（公称値，mrad）
ビーム真円度	>90 %
ビーム位置安定性	<25 µrad
ボアサイト精度	横ずれ ≤1 mm（指定出射位置対）、角度ずれ ≤5 mrad（指定出射方向対）
偏光比	垂直；>100:1
バーストモード
メガヘルツバーストモード	シングルショット～ 2000 kHz
最大サブパルス数（バースト内）	20
運用仕様・特性
インターフェース	RS232, Ethernet, GUI, 外部TTLトリガ
ウォームアップ時間	<5 分（スタンバイ）、<15 分（コールドスタート）
電気要件	32 V DC, 15 A	32 V DC, 28 A	60/32 V DC, 20/18 A	36 V DC, 200–240 V AC
電源周波数	50–60 Hz
消費電力	<500 W	<900 W	<1300 W	<1.8 kW	<2.6 kW
寸法（L×W×H）	406 × 216 × 114 mm	508 × 216 × 114 mm		508 × 254 × 114 mm	711 × 356 × 114 mm
質量	~17.2 kg	~21.3 kg	~25.9 kg	~29.5 kg	~45.4 kg
環境要件
*動作温度^2**	周囲 15～30 ℃（59～86 °F）
相対湿度	0～80%（最大）、結露無きこと
保管条件	-10 to 40 ℃；海抜 0～12,000 m／相対湿度 0～80%、結露無きこと
冷却方式	水冷（20–22 ℃、±0.1 ℃）

RX GRN Series_*1,2,3,4 – 532 nm

仕様	RX-532-20	RX-532-70	RX-532-100	RX-532-150	RX-532-175
波長	532 nm
平均出力	20 W	70 W	100 W	150 W	175 W
パルスエネルギー	100 µJ	175 µJ	160 µJ	250 µJ	290 µJ
規定PRF	200 kHz	400 kHz	600 kHz
パルス幅	~7 ps
*繰返し周波数_5**	シングルショット～ 2000 kHz
パルス間安定度 (RMS)	<2%
*長期出力安定度 (RMS)_6**	≤1%
*空間モード / M²_8**	TEM₀₀, M² < 1.2
ビーム径	1 ± 0.5（公称値, mm）		2 ± 0.2（公称値, mm）	2.5 ± 0.5（公称値, mm）
ビーム拡がり角	<1.5 （公称値，mrad）
ビーム真円度	>90%
ビーム位置安定性	<25 µrad
ボアサイト精度	横ずれ ≤1 mm（指定出射位置対）、角度ずれ ≤5 mrad（指定出射方向対）
偏光比	水平；>100:1
バーストモード
MHzバーストレート	シングルショット～ 2000 kHz
*最大サブパルス数（バースト内）^9**	20
運用仕様・特性
インターフェース	RS232, Ethernet, GUI, 外部TTLトリガ
ウォームアップ時間	<5分（スタンバイ）、<15分（コールドスタート）
電気要件	32 V DC, 15 A	32 V DC, 28 A	60/32 V DC, 20/18 A	36 V DC, 200–240 V AC
電源周波数	50–60 Hz
消費電力	<500 W	<900 W	<1300 W	<1.8 kW	<2.6 kW
寸法（L×W×H）	406 × 216 × 114 mm	508 × 216 × 114 mm	508 × 254 × 114 mm	508 × 305 × 114 mm	711 × 356 × 114 mm
質量	~17.2 kg	~21.3 kg	~25.9 kg	~29.5 kg	~45.4 kg
環境要件
*動作温度^2**	周囲 15～30 ℃（59～86 °F）
相対湿度	0～80%（最大）、結露無きこと
保管条件	-10 to 40 ℃；海抜 0～12,000 m／相対湿度 0～80%、結露無きこと
冷却方式	水冷（20–22 ℃, ±0.1 ℃）

RX UV Series – 355 nm

仕様	RX-355-10	RX-355-28	RX-355-50	RX-355-65	RX-355-80
波長	355 nm
平均出力	10W	28W	50W	65W	80W
*パルスエネルギー^1,4**	25µJ	70µJ	90µJ	100µJ	130µJ
規定PRF	400kHz		600kHz
パルス幅	~7 ps
*繰返し周波数^5**	シングルショット to 2000kHz
パルス間安定度 (RMS)	<2%
長期出力安定度 (RMS)⁶	≤1%
*ビーム空間モード / M²^7**	TEM₀₀・M² < 1.2			TEM₀₀・M² < 1.5
ビーム径	~1（公称値，mm）	4 ± 0.5（公称値，mm）		~5（公称値，mm）
ビーム拡がり角	<1.5（公称値, mrad）	<0.5（公称値, mrad）
ビーム真円度	>90%
ビーム位置安定性	<25 (µrad / °C)
ボアサイト精度	横ずれ ≤1 mm（指定出射位置対）、角度ずれ ≤5 mrad（指定出射方向対）
偏光比	垂直；>100:1	水平；>100:1
バーストモード
MHzバーストレート	シングルショット～ 2000 kHz
*最大サブパルス数（バースト内）^8**	20
運用仕様・特性
インターフェース	RS232, Ethernet, ソフトウェアGUI, 外部TTLトリガ
ウォームアップ時間	<5分（スタンバイ）／ <15分（コールドスタート）
電気要件	32 V DC, 15 A	32 V DC, 28 A	60/32 V DC, 20/18 A	36 V DC, 200–240 V AC
電源周波数	50–60Hz
	<500W	<900W	<1300W	~1.7W	~2.2W
外形寸法（L×W×H）	406.4 × 215.9 × 114.3 mm	647.7 × 254 × 114.3 mm		660.4 × 304.8 × 114.3 mm	762 × 355.6 × 114.3 mm
質量	~17.3 kg	~32.2 kg		~38.6 kg	~45.4 kg
環境要件
*動作温度^2**	周囲 15～30 ℃（59～86 °F）
相対湿度	0～80%（最大）、結露無きこと
保管条件	-10 to 40 ℃；海抜 0～12,000 m／相対湿度 0～80%、結露無きこと
冷却方式	水冷（20～22 ℃ ±0.1 ℃）

注記：
^*1 ウォームアップ後、チラー温度が定常状態。
^*2 定常運転時（パルスゲーティングなし、またはPRF変更なし）。
^*3 PEC=100での最大出力。
^*4 シングルパルス動作（Burst=1）。
^*5 最大15 MHzまでオプション対応。
^*6 8時間 ±1℃ の条件で測定。規定温度範囲外での運用についてはお問い合わせください。
^*7 すべてのビームパラメータおよび安定度は規定PRFでの値。
^*8 パルス繰返し周波数 × バースト数が15 MHzを超えないこと。

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