DXG Air-Cooled DUV
266nm DUV Nd:YAG 空冷ナノ秒レーザー

メーカー:Photonics Industries

概要と特長

産業用・精密加工向け DUV Nd:YAG 空冷ナノ秒レーザー

Photonics IndustriesのDXG Nd:YAG DUV空冷シリーズは、実績あるDXプラットフォームを深紫外領域へ拡張し、最大1Wの266nm出力を一体型空冷パッケージで提供します。外部チラーは不要です。OEM統合が容易な設計で、ナノ秒Qスイッチレーザーとして真のTEM₀₀ビーム品質を備え、10kHzで最大約100µJのパルスエネルギーと5~50kHzの繰返し周波数で発信できます。

堅牢かつコンパクトな筐体設計により、短パルス幅、動的パルスエネルギー制御(PEC)、位置同期出力(PSO)を組み合わせ、幅広い産業および科学用途で優れた汎用性と精密性を発揮します。さらに、オプションのベースプレート冷却が高い熱的柔軟性を実現します。搭載の診断機能とキャリブレーションにより、要求の厳しい環境下でも、一貫して、長期的に性能を維持します。
 

  • オールインワン(AIO)設計
  • 空冷式
  • パルスの完全制御
  • 独自の内部高調波技術

 

アプリケーション

  • ガラス、プラスチック、セラミックへのマーキング
  • ポリマーや薄膜のマイクロドリリング
  • カテーテル、その他医療機器の加工
  • ウェハダイシングおよびエッジトリミング
  • ディスプレイや太陽電池のスクライビング
  • ミクロンレベルの表面クリーニングおよびアブレーション
  • デリケートな基板上のコーティング除去
  • セキュリティマーキング向けの微細彫刻

製品仕様

DXG DUV Air-Cooled Series – 266nm

モデル DXG-266-0.25 DXG-266-0.5 DXG-266-1
波長 266 nm
平均出力 @15kH 250 mW 500 mW 1 mW
パルスエネルギー@15kHz ~16 µJ ~33 µJ ~67 µJ
パルス幅 ~10–15 ns @15kHz
繰返し周波数 (kHz)*1 5 ~ 50
パルス間安定度 (%RMS)*2 <3
長期出力安定度 (%RMS)*3 <2
ビーム空間モード/M² TEM00・M² < 1.2
ビーム拡がり角 ~2.5(公称値, mrad)
出口ビーム径 ~0.9(mm, 公称値)
ビーム真円度 >80%
ビーム位置安定性 <25(µrad)
偏光比 水平;>100:1
運用仕様・特性
インターフェース RS232、Ethernet、ソフトウェアGUI、外部TTLトリガ
ウォームアップ時間 <5分(スタンバイ)/<10分(コールドスタート)
電源要件 100–240 V AC → 15 V DC, 13.4 A[PSU付属]
電源周波数 (Hz) 50–60
消費電力 (W) ~130
寸法(W×D×H) 406.4 × 127 × 127 mm
質量 ~9.1 kg
環境要件
動作温度*4 周囲 15 to 30 ℃(59 to 86 °F)
相対湿度 0–80 %(最大)、結露無きこと
保管条件 −10 to 40 ℃;海抜 0~12,000 m
相対湿度 0~80 %、結露無きこと
冷却方式 空冷/ベースプレート冷却*5

*1 低繰返し(~<5 kHz)時の性能はパルスエネルギー制限により達成。
*2 周囲温度 ±2 ℃ 条件で測定。
*3 8 時間、±1 ℃ 条件で測定。
*4 規定温度範囲外での動作についてはお問い合わせください。
*5 水冷ヒートシンク・オプションについてはお問い合わせください。