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メーカー：Fluence Technology
Jasper Flexは、微細加工用の新しい高出力フェムト秒レーザーです。コンパクトなサイズなので、使いやすく、従来のシステムにも組み込みやすくなっています。最大繰り返し周波数1 MHzで最大エネルギー30 µJ、またバーストモードでは最大100 µJのパルスを発振します。ユーザーによる設定が可能なバースト・モードは、民生用電子機器、集積フォトニクス、ディスプレイを製造する業界において新たな特徴をもたらします。
高出力レーザーの最も重要な部分はフェムト秒発振器です。これは私たちのあらゆるシステムの心臓部となっています。Jasper Flexは、Fluence独自の技術であるオールファイバー、SESAMフリー発振器に基づいており、40Gの振動で動作することがテストされています。この発振器とファイバー・プリアンプは、アライメントのずれに影響されないモノリシック構造を実現。これにより、Jasper Flexシステムの堅牢性が確立されています。
| Jasper Flex | |
|---|---|
| 最大平均出力 | 30 W （さらに高出力はお問い合わせください。） |
| 最大パルスエネルギー | 30 μJ 最大 1 MHz （さらに高出力はお問い合わせください。） |
| 最大バーストエネルギー | 100 μJ @ 200 kHz, 1030 nm |
| 基本繰り返し周波数 | 20 ± 2 MHz |
| 2 段階繰り返し周波数調整 | 1 – 20 MHz, （内部繰り返し周波数） |
| 制御ソフトウェアでの選択可能性 | シングルパルス – 1 MHz, （パルスピッカー内蔵で実現） |
| パルス幅 | < 270 fs FWHM (< 250 fs 代表値) |
| パルス幅調整 | < 270 fs – 8 ps, ソフトウェア制御 (< 270 fs – 20 ps オプション) |
| 中心波長 | 1030 ± 5 nm |
| 波長出力（オプション） | 高調波発生モジュール(HGM)付き: 515 nm、343 nm、258 nm （ご要望に応じて対応可能） |
| 偏光 | 直線、垂直 |
| ビーム品質 M² | < 1.2 (~ 1.1 typical) |
| 出力ビームウエスト径 1/e² | 2.5 ± 0.5 mm (その他はお問い合わせください) |
| 加工強化のためのバーストモード | 内蔵 |
| 6U、19インチラック搭載型チラー | 内蔵 |
| 外部ゲートトリガー | 内蔵 |
| 外部アナログパワー変調 | 内蔵 |
| レーザー制御ソフトウェア | 内蔵 |
| パルスオンデマンド | 内蔵 |
仕様は改良のため予告なく変更することがあります。
